项目名称: 晶圆IV探针参数测试系统
项目编号:西交材招(2022)23
项目联系人:张老师
项目联系电话:029-82667917
采购单位联系方式:
采购单位: 美高梅mgm1888公司官网
采购联系人: 何培培 邮箱:heppcl@mail.xjtu.edu.cn
联系地址: 西安市咸宁西路28号美高梅mgm1888公司官网仲英楼A223室
一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍:
设备名称:晶圆IV探针参数测试系统
数量:1套
技术参数:
(一)技术指标要求:
★1.直径至少4”真空卡盘采用中心真空吸附孔和多圈真空吸附环固定样品,每个真空通道均独立控制,卡盘中心孔直径不大于1mm,兼容直径2”真空卡盘,可升级为高低温探针台。
★2.配套无油静音真空泵,至少可达7 升/分钟,真空度:-33.3kPa( -250mmHg),噪音不高于35db;
★3.卡盘采用同轴位移台,XY同轴载物台低重心仅25mm厚 ,快速移动不小于25mm /转,方便快速找到目标物,XY方向行程不小于100×100mm,每轴都有一个锁定旋钮,XY方向微调分辨率不大于1μm;
★4.配备≥4″温控吸盘,包含卡盘冷却区,滑台温度缓冲区,调温器,水箱等配套设备,温度范围至少可以保证RT~300C,温度精度≤+/- 0.5°C。
5.承片台平面度不大于10μm;漏电流<1PA@100V, Chuck Theta 15˚ 精细行程,360˚ 快速行程,Chuck Theta 0.001˚ 分辨率;
▲6 .Z方向:总行程不小于10mm,快速移动至少4mm,微调至少6mm,微调分辨率不大于1μm,使用至少100TPI高硬度不锈钢螺杆;
★7. 至少四个探针臂接口,适用于4路射频,探针座精度至少0.7um,使用至少80TPI高硬度不锈钢螺杆, 线性X-Y-Z 12 mm范围全轴无间隙旋转,磁铁开/关底座,磁铁厚12mm,吸力至少5Kg。
★8.射频倾斜至少可达0.01度分辨率,直流探针耐电压1000V,耐电流1A,漏电流不高于10fA。
9.具备抬针针架功能,探针与圆片间快速上下分离/接触,相对针架台板至少支持4个探针臂同时上下移动,分离距离不小于10mm;后续可另行加装探针卡和针卡夹具。
10.作业方式:Wafer真空吸附;手动上片,手动对准、手动测试。
★11.显微镜及摄像系统: 配套高解析度长工作距离显微镜,目镜:20x,变焦0.8X〜5X;显微镜调焦机构:显微镜载物台氣動升降,行程60mm,探测高度可调,同轴旋钮调节,细调精度优于1微米,显微镜X-Y载物台行程至少可达:2” -2”,解析度不大于大于1um;
★12.CCD:5MP摄像机包括Moticam Image Plus软件,USB连接(首选3.0)。
▲13.配置气浮式减震台,气浮胶垫厚不大于0.5mm,垂直方向减震1.3Hz、三点自动调平;配套静音空气压缩机,噪音不高于40db。
▲14.配置屏蔽罩,具有Interlock功能,电磁屏蔽≥25dB@0.5-20G;光屏蔽≤ -170 dBVrms/rtHz。配套转接头及仪表连接线缆和连接器,可与仪表进行无缝互联。
(二)基本配置要求:
1. 探针台主机 1台
2. 显微镜 1台
3. 探针座及配套夹具 4套
4. 真空泵 1台
5. 屏蔽箱及配套转接头、连接器线缆、探针 1套
6. 防震台 1台
7. 空气压缩机 1台
8. CCD数字相机 1台
9、加热卡盘及配套水冷机 1套
注:带★的技数指标为必须满足的技术指标。
必须提供制造商有效的唯一经销授权书及售后服务保证书。
二、对供应商资格要求(供应商资格条件):
(一) 供应商的资格要求:
1. 符合《政府采购法》及其实施条例对投标人资格的要求;
2. 具有独立法人资格及相关证照,具有良好信誉及合同履行能力,具有良好资金、财务状况。
3. 供应商应为所提供产品的生产企业,或具有所提供生产企业出具的针对本项目的产品授权书。
4. 供应商不得被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为名单记录。
5. 本项目不接受联合体投标。
6. 其他要求:
本项目特殊要求在技术规格指标中列明
(二)供应商报名方式:
符合本公告要求的供应商,填写附件《供应商报名登记表》并由法定代表人、委托代理人分别签字并加盖单位公章后,彩色扫描成PDF文件后发送给采购单位联系人邮箱。
三、采购文件的发售时间及地点等:
磋商时间:2022年11月18日
获取磋商文件时间: 2022年11月10日-2022年11月16日17点
获取磋商文件方式:报名审核通过的供应商由采购联系人以邮件形式发送标书要求。
响应文件递交时间:2022年11月18日
响应文件递交地址:西安市咸宁西路28号美高梅mgm1888公司官网仲英楼
响应文件开启时间:2022年11月18日
响应文件开启地点:西安市咸宁西路28号美高梅mgm1888公司官网仲英楼